Адсорбционный насос

Адсорбцио́нный насо́с

Вакуумный насос, действие которого основано на физической адсорбции (См. Адсорбция) откачиваемого газа на поверхности адсорбента. Адсорбентом чаще всего служат цеолиты, реже — силикагели и активный уголь. Для усиления адсорбции адсорбент охлаждается жидким азотом. Со временем адсорбент насыщается газом и действие А. н. постепенно прекращается, но восстанавливается после нагрева до 100—150°С при откачке форвакуумным насосом (См. Форвакуумный насос). Получаемое абсолютное давление — до 10 мкн/м2 (1×10-7мм рт. ст.).