Ионный насос

Ио́нный насо́с

Вакуумный насос, в котором откачиваемый газ подвергается интенсивной ионизации, а образующиеся положительно заряженные ионы удаляются под действием электрического поля. С помощью И. н. создают разрежение 10-4н/м2 (10-6мм рт. ст.).