Большой энциклопедический словарь
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА (интегральная электроника) — область электроники, связанная с созданием и применением в радиоэлектронной аппаратуре узлов и блоков, выполненных на интегральных схемах и микроминиатюрных конструктивно-вспомогательных изделиях (разъемах, переключателях и т. д.) — часто с использованием различных функциональных приборов (опто-, акусто-, криоэлектронных, ионных, тепловых и др.). Сформировалась в нач. 60-х гг. 20 в. Развивается в направлении уменьшения размеров элементов, размещаемых на поверхности или в объеме кристалла (чипа) отдельных интегральных схемах (на 1990 для наиболее распространенных ИС — кремниевых — эти размеры доведены до 0,2-1 мкм) — повышения степени их интеграции (до 107 элементов на кристалл) — увеличения максимальных размеров кристалла (до 80-100 мм2).