1. шаговый электродвигатель; шаговый привод 2. элн установка совмещения и последовательного шагового мультиплицирования 3. шаговый координатный стол 4. свз повторитель projection stepper wafer stepper (обыкн. good *, sure *) хороший ходок (обыкн. good *, sure *) лошадь с хорошим ходом